在三氯氫硅生產的各個工序中，為防止火災、中毒，要嚴格執行各項消防安全制度，嚴格控制工藝指標，嚴格操作規程。加強對設備管道的維護保養，嚴防跑、冒、滴、漏。具體預防措施如下：

　　1、火源管理。在生產中進行檢修時使用的工具應該是不產生火花的工具，嚴禁用鐵器敲打設備或管道，工作人員應穿棉制品工作服。生產和貯罐區禁止明火，生產中動火要嚴格執行有關安全管理制度。

　　2、防止跑、冒、滴、漏。生產過程中產生的大都是易燃易爆有毒物質，生產設備、工藝管道和貯罐如果發生泄漏極易釀成火災、爆炸和中毒事故。因此，日常工作中要做好安全檢查，不留死角，設備要定期檢修，發現問題及時采取補救措施，修復存在跑、冒、滴、漏的部位。

　　3、配置應急工具和消防設施。應該配備一定數量的防毒面具、自給式空氣呼吸器、手套、堵漏工具。應急隊的人員要經常進行演練，熟練掌握各種情況下的堵漏方法和處置措施。貯罐區常備干砂的量最好不少于一個貯罐的容積，廠內倉庫存放一定的水泥作應急之用。配備一定數量的手提式二氧化碳和干粉滅火器。

　　4、生產工藝中的防火防泄漏措施。

　　（1）三氯氫硅的合成、除塵和精餾工段。HCl氣體緩沖罐與合成爐之間應設止回閥，防止合成爐的SiHCl3回到緩沖罐。應控制HCl氣體的流量，控制合成爐內的溫度。對設備管道要經常進行維護保養，防止三氯氫硅泄漏。在生產中要保持整個系統的密閉，用99．99％的氮氣進行保護。

　　（2）三氯氫硅的儲存。三氯氫硅的沸點較低，需在低溫下儲存，三氯氫硅的貯罐設置低溫保護裝置和降溫措施。由于三氯氫硅有潛在的燃燒爆炸危險，所以它的貯罐應與生產裝置要有一定的防火間距，并且要設防火堤，降溫水的排放管道經過防火堤處要設閘閥。貯罐應設靜電接地裝置和避雷裝置。貯罐內的氣相要與氮氣系統相連進行保護，貯罐的氣相與外部連通的平衡管（放空管）應與尾氣回收系統相連，不能直接排空，并應設止回閥和阻火器。貯罐區應設一個備用罐，緊急情況下應將泄漏的貯罐內的物料轉移至備用罐，防止大量泄漏。